专为电子半导体行业快速检测而设计

在微电子和半导体行业中,检验、过程控制或缺陷和故障分析的速度至关重要。检测缺陷的速度越快,您做出响应的速度也就越快。


视场宽敞 30%

DM3 XL 检验系统凭借大视场帮助您的团队更快地识别缺陷,提高您的收益率。充分利用独特的宏观物镜,视场宽敞 30%。

更多细节尽收眼底,工作更高效

看到更多细节意味着工作更高效。为快速扫描达到 6" 的大组件,DM3 XL 提供独特的宏观物镜。

利用 0.7x 放大倍率,它可以即刻采集 35.7 mm 的视场 – 比其他常规扫描物镜宽敞 30%。

适用于所有相衬观察方法的 LED

DM3 XL 针对所有相衬观察方法使用 LED 照明。LED 照明可提供恒定的色温,并在所有亮度等级下提供真彩色成像。

由于 LED 使用寿命长,耗电量低,因此还具有巨大的成本节约潜力。


不同样品 – 可变载物台插件

无论您想要检验的样品是哪种类型,尺寸如何,均有种类丰富的载物台插件供您选择。


工作舒适直观

彩色编码光圈辅助 (CCDA) 对分辨率、对比和景深的基本设置进行简化,有助于提升您的工作速度,并最大程度减少操作失误。



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