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LIBS 原理
激光诱导击穿光谱(LIBS)是一项经实践检验的技术,能够即时提供多种元素的化学分析结果。激光脉冲(3ns)会烧蚀一部分样品表面(直径15µm)。被烧蚀的材料温度升高(>10,000°C),产生等离子体。激光一旦停止,等离子体就会冷却并发射出特有的元素光谱。从这一光谱中,可根据相关的峰值位置特征获得定性化学信息。现如今,使用光学显微镜进行目视检查只是第一步。如要获得全面的样品属性概况,了解这些属性是否符合要求,必须采取进一步的分析手段。这种附加检查步骤需要大量的时间和资金成本。需要制备样品,并使用其他分析设备进行检验,例如扫描电镜检查法(SEM-EDX)。除此之外,在重新定位从光学显微镜检查中找到的感兴趣区域(ROI)时,会在SEM分析期间损失更多时间。