一种新型扫描电镜样品制备技术-离子束刻蚀技术
课程语言：中文
课程类型：免费课程，登录后可观看
讲者类型：外部邀请讲师
内容领域：非医疗
发布日期：2022年07月 录制日期：2020年06月 观看量：792
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一种新型扫描电镜样品制备技术-离子束刻蚀技术
离子束刻蚀技术是一种近年来出现的用于扫描电子显微镜、电子背散射衍射分析（EBSD）和原子力显微镜（AFM）分析的新型磨抛加工制样技术。通过利用惰性气体元素或其他元素的离子的动能进行各种微细加工的方法，具有污染少、加工应力小、热变形小和加工表面质量高等特点。本次网络课题，将展示离子束刻蚀技术在粉体、薄膜和金属等材料样品制备方面的应用以及取得的相应测试结果，并就各种类型的样品制备技巧加以详细阐述，以期能促进该技术在扫描电镜等材料分析测试领域的应用研究。
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