高分辨率显微技术在半导体工艺中的应用

课程语言:中文
课程类型:免费课程,登录后可观看
讲者类型:徕卡内部员工讲师
内容领域:非医疗

发布日期:2022年10月 录制日期: 2022年09月 观看量:298

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高分辨率显微技术在半导体工艺中的应用

光学检测技术在半导体行业应用广泛,基于高分辨率光学和软件图像处理技术可以对半导体生产工艺中的缺陷进行检测与分析。本视频将从针对晶圆检测的大平台显微镜、DCM8光学表面测量系统和OEM等方面,介绍徕卡高分辨率光学显微镜在半导体工艺中的应用。

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