徕卡DM3 XL正置显微镜 DM3 XL

在微电子和半导体行业中,检验、过程控制或缺陷和故障分析的速度至关重要。检测缺陷的速度越快,您做出响应的速度也就越快。

视场宽敞 30%

DM3 XL 检验系统凭借大视场帮助您的团队更快地识别缺陷,提高您的收益率。充分利用独特的宏观物镜,视场宽敞 30%。

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更多细节尽收眼底,工作更高效

看到更多细节意味着工作更高效。为快速扫描达到 6" 的大组件,DM3 XL 提供独特的宏观物镜。

利用 0.7x 放大倍率,它可以即刻采集 35.7 mm 的视场 – 比其他常规扫描物镜宽敞 30%。

在宏观物镜下,缺陷无所遁形:

  • 提高您的收益率
  • 可靠检测晶片边缘或中心显影不足的区域
  • 检测不均匀的径向膜厚度

适用于所有相衬观察方法的 LED

DM3 XL 针对所有相衬观察方法使用 LED 照明。LED 照明可提供恒定的色温,并在所有亮度等级下提供真彩色成像。

  • 在所有亮度等级下实现真彩色成像
  • 自由调节
  • 无需更换灯泡 – 无停机时间
  • 可复制的结果

由于 LED 使用寿命长,耗电量低,因此还具有巨大的成本节约潜力。

光学“高手”

DM3 XL 让您以实惠的价格享受到卓越的光学性能。

  • 采用斜射照明检验侧面、边缘或碎屑:以简单有效的方式从不同角度照亮样品,从而实现各种形貌的可视化。

  • 借助深暗场对比检测样品较低层中的微小划痕或小颗粒。

您将对明显提高的灵敏度和分辨率感到震惊。

请在徕卡光学中心探索徕卡物镜产品的更多信息。

不同样品 – 可变载物台插件

无论您想要检验的样品是哪种类型,尺寸如何,均有种类丰富的载物台插件供您选择:

  • 载物台尺寸:150 mm x 150 mm
  • 载物台插件:金属插件、晶片支座或掩模支座
  • 快速的粗略或精准载物台定位

工作舒适直观

彩色编码光圈辅助 (CCDA) 对分辨率、对比和景深的基本设置进行简化,有助于提升您的工作速度,并最大程度减少操作失误。

直观明了的功能帮助您的团队更快速地交付理想结果。 

  • 得益于可轻松操作的控件,用户可在切换对比度或照明时,双手继续操作显微镜,双眼专注于样品之上。
  • 右手可轻松操控光强控制器
  • 使用可变人体工学镜筒和调焦旋钮,根据不同身高调整显微镜
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