电子材料-徕卡电镜制样技术及应用进展

电子材料的内部结构分析直接影响其性能的发挥,近年来随着对器件性能要求越来越高,对其性能的判定显得尤为重要,其中电镜观察手段直观,高效,对结构和成分分析都有广泛的应用。根据电镜观察需要,材料的内部结构需依赖相应的制样手段将其暴露在表面,徕卡的电镜样品前处理设备可广泛应用于电子材料如芯片,光刻胶,屏幕,PCB,多晶硅等的失效分析和结构解析。

徕卡电镜制样设备品类众多,广泛应用于电子材料,金属材料,高分子材料等各类材料的电镜样品前处理观察分析,徕卡的定点定位加工技术,切片技术,离子束技术在电子材料的内部结构解析中起着重要作用,例如定点加工技术,将样品磨抛至指定位置附近,离子束技术无应力加工后,可观察分析样品的无应力加工后的平整面。

电子材料的内部结构分析直接影响其性能的发挥,近年来随着对器件性能要求越来越高,对其性能的判定显得尤为重要,其中电镜观察手段直观,高效,对结构和成分分析都有广泛的应用。根据电镜观察需要,材料的内部结构需依赖相应的制样手段将其暴露在表面,徕卡的电镜样品前处理设备可广泛应用于电子材料如芯片,光刻胶,屏幕,PCB,多晶硅等的失效分析和结构解析。

徕卡电镜制样设备品类众多,广泛应用于电子材料,金属材料,高分子材料等各类材料的电镜样品前处理观察分析,徕卡的定点定位加工技术,切片技术,离子束技术在电子材料的内部结构解析中起着重要作用,例如定点加工技术,将样品磨抛至指定位置附近,离子束技术无应力加工后,可观察分析样品的无应力加工后的平整面。

主讲人

武素芳

徕卡显微系统

电镜制样工程师

Application Specialist

从事电镜应用和电镜样品制备工作10年有余,具有丰富的电镜观察和样品制备经验,制备及观察样品种类繁多,对样品制备观察有独特见解。对于电子材料,金属材料,高分子材料等电镜观察前处理有丰富的培训和实操经验。

内容介绍

本次讲解简要分析了电子材料的特点,根据材料特性介绍电镜观察的注意事项以及对材料制备的要求。对于扫描电镜观察的平整断面,详细介绍样品的处理流程,结合徕卡制样设备,介绍了精研一体机前处理电子材料的定点加工等优势和徕卡三离子束无应力低热效应的优势,展示了电子材料平整断面的应用案例,涉及到OLED,LED,PCB等。电子材料基础研究时,往往需要透射电镜分析材料内部信息,在此处主要介绍徕卡超薄切片机特点及处理此类样品的部分成功案例。

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