数码显微镜在微电子和电子行业的应用

微电子和电子学的革新导致了样品越来越小,传统的双目显微镜也在不断面临挑战。然而数码显微镜不使用目镜,而是用户可直接通过显示器进行观察的特点,让微电子的观察效率有了很大的提高。控制(QC/QA)或开发(R&D)时,一些微电子器件的生产,如硬盘驱动器,要求对其各个部件进行检查和质量控制,全尺寸:从宏观(>2毫米)->介观尺度(10mm~25μm)->微观尺度(1000μm~500nm)->纳米尺度(<500nm)。需要使用数码显微镜对零件快速进行大视野成像,以及精准的尺寸计量。从而满足更快的改进制作规范以及生产需求,优化整个工作流程。使用徕卡DVM6数码显微镜的以下性能,可快速得出检查的可靠结果。本报告的重点将是大视野、测量功能及倾斜角度(下述红色字体部分)。

>>自动跟踪和存储的可重复,显微镜最重要的硬件参数可记忆(编码),例如,使用的倍数,照明和相机设置等参数条件可快速重现;

>>超大变焦范围16:1,镜头切换支持热插拔;

>>二维尺寸测量及三维尺寸测量

>>快速角度旋转,倾斜角度不同视角观察样品;

>>集成LED(发光二极管)环形光和同轴光,具有多方向的照明模式;

>>数字快照和数字10MP的数码相机,高画质成像;

>>XY拼图功能和Z轴扫描成像功能,可拍摄大范围大景深的图像;

 

徕卡DVM6数码显微镜满足微观尺寸(10mm~500nm)的观察,例如在电子零件领域用于测量硬盘驱动器上零件通孔的直径、周长和深度分布,以及焊点的长度、面积和高度分布。

硬盘驱动器图示

1. 一颗镜头观察宏观及微观:

16:1超大变倍比,一颗镜头即可从宏观观察到微观结构。

磁头和读写臂20x
磁头和读写臂130x红箭头位置有划痕
磁盘PCB上引脚40x
磁盘PCB上引脚120x三根引脚损坏

2. 二维及三维测量功能:

不仅可对平面进行数据测量,还具备了EDOF景深叠加功能,叠加后的图像可进一步进行三维尺寸测量。

控制磁头和执行臂的线路板2D尺寸测量  

控制磁头和执行臂的线路板3D尺寸测量及3D视图

3. 使用DVM6旋转角度功能进行观察方位样品:

支架可倾斜±60°载物台可旋转±180度,无需改变样品角度

 

PCB板,倾斜0°+环形光+匀光器
PCB板,倾斜5°+环形光+匀光器,箭头垫片部位有划痕,红圈PCB表面有划痕

总结:

微电子和电子工业与日俱增,需要更快更便宜的设备生产,同时满足不断提高产品规格的要求。从而导致制造商的工作流程变得更为复杂,对工作流程的效率要求也越来越高。DVM6数码显微镜无目镜,直接观察显示器的特点以及符合人体工学,无论是在产品创新、研究和开发(R&D)、生产、质量控制与保证(QC/QA)或失效分析(FA),都能大大提高工作效率,减少成本增加效益。

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