使用“二合一法”解决方案进行清洁度分析

在汽车和运输、微电子、制造和医疗器械等行业中，产品及其组件的性能和使用寿命非常容易受到污染的影响。

徕卡清洁度检测显微镜 DM6 M LIBS 材料分析解决方案 (参考图 1) 等二合一解决方案将光学显微术 (目视分析) 和激光诱导击穿光谱 (LIBS) (化学分析) 相结合。与扫描电镜检查法 (SEM) 和能量色散谱 (EDS) 等其他方法进行比较，在高效清洁度分析中占据着优势。

查找和消除污染源更轻松

对于技术清洁度，最终目标是查找和消除污染源。二合一解决方案可以用更少的时间和精力识别污染源，因为清洁度分析流程得到了简化。

与使用扫描电镜检查法 (SEM) 和能量色散谱 (EDS) 进行分析的不同之处在于:

> 无需样品制备；

> 无需将样品从一个设备传输到另一个设备；

> 无需在滤片上重新定位感兴趣区域，也无需进行系统调节；

> 无需损失等待真空的时间 (分析始终在大气条件下的空气中进行)

“二合一法”解决方案:颗粒成像和构成分析

以下图 2 所示为使用徕卡清洁度检测显微镜 DM6 M LIBS 清洁度检测显微镜解决方案对滤片上的颗粒进行可视和化学分析的示例。 

图 2：使用 DM6 M LIBS 二合一解决方案执行清洁度分析:

A) 检测、统计和测量滤片上的颗粒；

B) 如果是金属颗粒，选择适当的对比度方法可以看到颗粒的反射光；

C) 激光追踪 ( 红色十字准线) 滤片上检测到的颗粒，以运用 LIBS 进行化学分析；

D) 来自 LIBS 的元素谱清楚地表明该颗粒由铝 (Al) 组成。

双重高效的总体清洁度工作流程

对于整个清洁度工作流程，往往要使用多个供应商提供的多种仪器来执行颗粒提取和分析。从颗粒提取到分析，在整个流程中使用来自“单一源”的一种清洁度解决方案更加方便。徕卡公司和 Pall 公司共同努力为汽车和运输行业提供了这样一种独特而全面的清洁度解决方案。您可在下面的图 3 中看到使用 Pall 清洗柜和徕卡 DM6 M LIBS 二合一解决方案的整体清洁度工作流程。

整套解决方案的优势在于更容易达到清洁度分析的最终目标:：

> 测定颗粒导致损坏的潜在可能性；

> 找到并消除对产品性能和使用寿命构成严重威胁的污染源。

图 3：符合 VDA19 且有效的汽车行业整体清洁度工作流程：

从滤片颗粒提取和保留 （Pall 清洗柜） 到可视和化学分析（徕卡 DM6 M LIBS 二合一解决方案）。

目标旨在更快地找到危险颗粒污染源并消除它们。

清洁度分析流程 – 步骤