徕卡DM6M LIBS解决方案 | 操作简单明确 结果无需等待

了解如何为电子行业的各种工作流程和应用执行快速、详细的材料分析，包括竞争分析、质量控制和故障分析。

电子行业的先进材料研究

使用EM TXP和DM6 M LIBS进行结构分析，同时进行元素识别。

对于微电子样本，使用EM TXP进行横切以准备用于成像。使用LIBS激光光谱进行化学分析，不需要额外的样本制备。

 IC芯片的研究

横截面

使用徕卡EM TXP对样本进行研磨和抛光以到达关注区

目视检查

用入射光进行显微镜检查

LIBS分析

在几秒钟内进行化学成分分析

成分测定

通过数据库比对进行元素识别

总结

整个工作流程仅由2台仪器完成，即EM TXP和DM6 M LIBS。材料分析检测到引线接合处中的银元素，并确定了一层薄的铝元素中间层。

相信大家看到这里一定有些疑惑吧

LIBS系统是什么？徕卡的DM6M LIBS真的像介绍的那样简单操作，强大功能吗？

LIBS原理

激光诱导击穿光谱(LIBS)是一项经实践检验的技术，能够即时提供多种元素的化学分析结果。激光脉冲(3ns)会烧蚀一部分样品表面(直径15μm) 。被烧蚀的材料温度升高(>10,000°C)，产生等离子体。激光一旦停止，等离子体就会冷却并发射出特有的元素光谱。从这一光谱中，可根据相关的峰值位置特征获得定性化学信息。

徕卡DM6M LIBS解决方案

只需使用一种仪器即可执行目视检查和化学检查。所有光学功能均可用于样品的目视检查。在样品上找到 ROI 后，可立即执行LIBS分析。无需进一步制备样品，无需传输，也无需重新定位。只要 LIBS！

2 合 1 系统 — 用于目视和化学分析

目视和化学材料检验二合一，节省 90% 的时间。DM6 M LIBS 解决方案的集成激光光谱功能可提供在显微镜图像中所观察到的化学指纹图谱。利用所有显微镜功能，通过化学分析检查样品和鉴定材料。

1 秒即可获得化学指纹图谱

运用成熟的 LIBS (激光诱导击穿光谱) 技术进行即时元素分析，可在数秒内获得轰击点的化学信息。将工作流程精简至只有一个步骤，以结果为重点！

0 — 无需样品制备

找到感兴趣的位置，随后只需单击一下，即可触发 LIBS 分析。

所见即所测！

无需制备和传输样品 — 无需系统调节 — 无需重新定位感兴趣区