随着半导体产业蓬勃发展,半导体器件不断向小型化集成化方向发展,对制备该种材料的电镜样品带来了极大地挑战。通常在质量分析过程中,需要进行定点精密加工;在加工过程中,需要时刻关注样品的受热情况,放置热损伤造成的假象;同时还要兼顾制样过程的质量和效率。
发布日期:2022年10月 录制日期:2022年10月 观看量:285
随着半导体产业蓬勃发展,半导体器件不断向小型化集成化方向发展,对制备该种材料的电镜样品带来了极大地挑战。通常在质量分析过程中,需要进行定点精密加工;在加工过程中,需要时刻关注样品的受热情况,放置热损伤造成的假象;同时还要兼顾制样过程的质量和效率。
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