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案例分享 | 液晶屏玻璃基板上线路结构的观察

随着电子产品的更新换代,显示屏的清晰度和色彩等要求越来越高。尤其手机更是如此, 每出一款新的手机,显示屏的对比度和光亮度、高速度等性能就会有一个质的飞跃。我们今天来看看 TFT-LCD 内部基板会是一个什么样的结构呢?

本文就某个 TFT-LCD 的玻璃基板,采用氩离子束进行截面切割,然后上扫描电镜观察截面线路的结构。

1取样

玻璃基板一般是表面有一层膜,考虑到膜层非常的薄且软。制备的时候需要对其保护。 我们先从一片大的玻璃基板上取1cmX1cm的大小样块。可以采用玻璃刀裁剪。

2树脂边缘保护

采用可快速固化的 AB 胶,混合均匀后涂覆在样品有膜层的一边。控制树脂的厚度不要超过 30um。然后放在加热台上 60 度保温,加速树脂的固化。大约 2 小时后树脂就已经完全固化,就可以进行下一步。

3截面磨平

随意选取一个截面,放置在1000号的砂纸上进行截面磨平。如果条件允许,最好在磨抛机上进行磨平。研磨的过程中控制力道,注意不要把玻璃基板磨碎,膜层破损严重的情况发生。

4离子束切割

磨平后,我们就可以上氩离子束进行切割。目的是把研磨残留的损伤采用离子束切割的方式去除。完整保留玻璃基板的内部结构。

5电镜观察

可以看到玻璃基板上的膜层线路结构,每层的厚度和排列情况清晰可见。

放大1万倍后线路图

6所用仪器:

徕卡三离子束切割仪 Leica EM TIC 3X

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