案例分享 | 液晶屏玻璃基板上线路结构的观察
随着电子产品的更新换代，显示屏的清晰度和色彩等要求越来越高。尤其手机更是如此， 每出一款新的手机，显示屏的对比度和光亮度、高速度等性能就会有一个质的飞跃。我们今天来看看 TFT-LCD 内部基板会是一个什么样的结构呢？
本文就某个 TFT-LCD 的玻璃基板，采用氩离子束进行截面切割，然后上扫描电镜观察截面线路的结构。
1取样
玻璃基板一般是表面有一层膜，考虑到膜层非常的薄且软。制备的时候需要对其保护。 我们先从一片大的玻璃基板上取1cmX1cm的大小样块。可以采用玻璃刀裁剪。
2树脂边缘保护
采用可快速固化的 AB 胶，混合均匀后涂覆在样品有膜层的一边。控制树脂的厚度不要超过 30um。然后放在加热台上 60 度保温，加速树脂的固化。大约 2 小时后树脂就已经完全固化，就可以进行下一步。
3截面磨平
随意选取一个截面，放置在1000号的砂纸上进行截面磨平。如果条件允许，最好在磨抛机上进行磨平。研磨的过程中控制力道，注意不要把玻璃基板磨碎，膜层破损严重的情况发生。
4离子束切割
磨平后，我们就可以上氩离子束进行切割。目的是把研磨残留的损伤采用离子束切割的方式去除。完整保留玻璃基板的内部结构。
5电镜观察
可以看到玻璃基板上的膜层线路结构，每层的厚度和排列情况清晰可见。
放大1万倍后线路图
6所用仪器：
离子束刻蚀技术是一种近年来出现的用于扫描电子显微镜、电子背散射衍射分析（EBSD）和原子力显微镜（AFM）分析的新型磨抛加工制样技术。通过利用惰性气体元素或其他元素的离子的动能进行各种微细加工的方法，具有污染少、加工应力小、热变形小和加工表面质量高等特点。本次网络课题，将展示离子束刻蚀技术在粉体、薄膜和金属等材料样品制备方面的应用以及取得的相应测试结果，并就各种类型的样品制备技巧加以详细阐述，以期能促进该技术在扫描电镜等材料分析测试领域的应用研究。
